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ITO靶材的研究现状与发展趋势

李音波 , 李卫华 , 闫琳 , 余前春 , 韩志伟

功能材料

概述了ITO靶材的应用范围和日益增大的市场需求;对ITO靶材的加工技术和工艺进行了探讨,对ITO薄膜的特性进行了描述;并讨论了ITO靶材所面临的技术问题及发展趋势

关键词: ITO靶材 , 透明导电膜 , 烧结工艺