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GeO2-SiO2平面波导的应用及其发展

许丕池 , 余海湖 , 李小甫 , 李鸿辉 , 姜德生

材料导报

综合论述了GeO2-SiO2薄膜平面波导的发展历史和前景以及在集成光学中的应用.对该系统各种制备薄膜的方法及其各自的优缺点进行了阐述.

关键词: GeO2 GeO2-SiO2 平面波导 薄膜