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工艺气体比例对微波MO CVD沉积氧化铝膜性能影响?

张健 , 巴德纯 , 赵崇凌 , 杜广煜 , 刘坤

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.05.043

AlO 薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N2 O 和 TMA特气比例制备氧化铝膜层样品，并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明，随着N2 O 比例增大，薄膜中O/Al原子比例有上升趋势；膜层沉积速度显著降低；膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以，工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。

关键词: 线性微波源 , 氧化铝薄膜 , 工艺气体比例 , 折射率 , 沉积速度

电弧离子镀沉积NiCrAlY涂层的阻尼性能

杜广煜 , 谭祯 , 巴德纯 , 刘坤 , 韩清凯

稀有金属材料与工程

采用电弧离子镀沉积NiCrAlY涂层,探讨NiCrAlY涂层作为阻尼涂层的可行性并研究涂层的阻尼测试方法和阻尼特性.采用X射线衍射和扫描电镜等手段分别对涂层的物相结构、表面形貌以及化学成分进行了测试表征.而涂层阻尼的测试则采用动态机械分析仪和正弦扫频的方法进行,实验结果表明NiCrAlY涂层能明显提高样品的阻尼性能.

关键词: 电弧离子镀 , NiCrAlY涂层 , 阻尼 , 动态机械分析 , 正弦扫频

硫化温度对硫化钨薄膜摩擦性能的影响

杜广煜 , 巴德纯 , 王晓光

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2009.03.019

采用硫化法以3Cr13马氏体不锈钢为基片制备硫化钨薄膜,研究了硫化温度对薄膜性能的影响.结果表明,硫化温度对硫化钨薄膜的表面形貌和结晶率有明显影响,但对膜层的化学成分影响不大,薄膜能够有效改善不锈钢基体的摩擦学性能.随着硫化温度的升高,摩擦系数降低,测试环境和测试条件对薄膜的摩擦系数也有一定影响.

关键词: 无机非金属材料 , 二硫化钨 , 硫化 , 物相分析 , 摩擦系数

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