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太阳电池用绒面结构ZnO-TCO薄膜及光管理研究进展

陈新亮 , 田淙升 , 赵慧旭 , 杜建 , 张德坤 , 魏长春 , 耿新华 , 赵颖 , 张晓丹

材料导报

主要阐述了近年来薄膜太阳电池用绒面结构氧化锌(ZnO)透明导电氧化物(Transparent conductiveoxides,TCO)薄膜以及光管理设计方面的研究进展.主要包括溅射&湿法刻蚀技术、等离子体刻蚀玻璃衬底技术、等离子体处理修饰ZnO薄膜表面技术、修饰层改善ZnO薄膜表面技术、梯...

关键词: 太阳电池 , 绒面结构 , ZnO-TCO薄膜 , 光管理 , 薄膜技术