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硅基铝掺杂氧化锌异质结太阳能电池的制备与性能研究

商世广 , 赵玲 , 贺永宁 , 杜慧敏 , 赵萍

人工晶体学报

本文以绒面处理的P型硅(111)为衬底,利用磁控溅射、蒸发镀膜和热氧化等技术制备Al/P(cryst-Si: H)/N(Al-Doped ZnO)/ITO结构的异质结太阳能电池,探讨ZnO薄膜的表面形貌、晶体结构以及衬底的可见光反射率等因素对其光电转化性能的影响.扫描电子显微镜分析显示,氧化锌薄膜是...

关键词: 太阳能电池 , 磁控溅射 , 异质结 , 光伏特性