张豪
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温茂萍
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谭凯元
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杜自卫
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田勇
材料导报
在真空气相沉积条件下制备厚度分别为0.32 μm、2.39 μm、7.98 μm和17.11 μm的聚氯代对二甲苯膜(PC膜),采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对不同厚度PC膜的结晶度、表面形貌以及力学性能进行了表征与测试.结果表明,随着成膜厚度的增加,聚氯代对二甲苯薄膜的结晶度提高,表面晶粒尺寸增大,结晶形态更加完整,其表面粗糙度、压入模量和压入硬度呈逐渐增大的趋势.而PC膜表面形貌、力学性能的差异又与结晶度密切相关.
关键词:
PC膜
,
厚度
,
结晶度
,
压入模量
,
压入硬度
