材料期刊网

外置式电感耦合化学气相沉积法低温制备SiO2薄膜

席俊华 , 刘永强 , 杨凌霞 , 季振国

材料科学与工程学报

设计了一种外置式电感耦合等离子增强化学气相沉积装置,并利用该装置在n型硅片上低温沉积了SiO2薄膜.通过扫描电子显微镜(SEM)、傅立叶变换红外吸收谱(FTIR)等对生长的薄膜进行表征.SEM测试结果表明,利用该装置沉积的SiO2薄膜表面平整,薄膜均匀性好；根据FTIR图中Si-O峰的横向与纵向光学...

关键词: 二氧化硅薄膜 , 电感耦合 , 等离子增强化学气相沉积