杨发强
,
屈飞
,
古宏伟
,
李弢
,
王磊
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2010.03.013
用射频磁控溅射氧化锌掺铝陶瓷靶的方法在玻璃衬底上制备了ZnO:Al薄膜.研究了衬底温度(Ts)、靶基距(Dt-s)对薄膜结构及光电性能的影响.实验结果显示:Ts在室温至300℃、Dt-s在35～60mm范围内时,薄膜为六方相结构,并具有C轴取向,可见光范围平均透光率大于88%.Ts及Dt-s对薄膜电...
关键词:
ZnO:Al
,
射频磁控溅射
,
Cu(In,Ga)Se2
