崔云先
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杨德顺
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孙宝元
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贾颖
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徐军
功能材料
利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的SiO_2多层复合绝缘薄膜,研究了SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备工艺.通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶仪和XPS对SiO_2功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分进行了观测,结果表明,制备的多层复合SiO_2薄膜厚度小、绝缘性好,绝缘电阻达到9.5×10~(12)Ω.其与金属基体结合力可达16.7N,满足制作切削刀具测温传感器的要求.
关键词:
切削刀具
,
测温传感器
,
SiO_2绝缘薄膜
,
多层复合
,
磁控溅射
