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无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制

李炎 , 刘玉岭 , 卜小峰 , 孙铭斌 , 杨志欣 , 张男男 , 张玉峰 , 程川

表面技术

目的：研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为：金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0....

关键词: 复合清洗剂 , 大分子螯合剂 , 表面活性剂 , 铜膜 , 腐蚀速率