杨晓朋
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宋平新
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王新昌
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姚宁
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张兵临
材料导报
移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(sAw)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料.综述了ZnO/diamond、A1N/diamond和LiNbO3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今...
关键词:
压电薄膜
,
金刚石
,
声表面波
邱智文
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杨晓朋
,
韩军
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曾雪松
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李新化
,
曹丙强
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2014.13284
采用高压脉冲激光沉积法(HP-PLD)研究了压强、金催化层厚度对钠掺杂氧化锌纳米线(ZnO∶Na)生长的影响,并制备了ZnO∶A1薄膜/ZnO∶Na纳米线阵列同质pn结器件.实验发现,当金膜厚度为4.2 nm,生长压强为3.33×104 Pa,生长温度为875℃时,可在单晶Si衬底上生长c轴取向性良...
关键词:
钠掺杂
,
氧化锌纳米线
,
高压脉冲激光沉积(HP-PLD)
