刘振良
,
廖志君
,
范强
,
杨水长
,
伍登学
,
卢铁城
稀有金属材料与工程
用电子束蒸发的方法在单晶硅(100)基片上制备了硼碳氮薄膜,通过椭圆偏振仪、X射线衍射仪(XRD)、X光电子能谱仪(XPS)、傅立叶红外光谱仪(FTIR),测试分析了薄膜厚度均匀性、成分与结构.结果表明,薄膜均匀性较好,薄膜的沉积速率非常慢;薄膜在衬底温度为常温下沉积已是晶态的,随着衬底温度升高到4...
关键词:
硼碳氮薄膜
,
XPS
,
XRD
,
FTIR
杨水长
,
廖志君
,
刘振良
,
范强
,
伍登学
,
卢铁城
稀有金属材料与工程
采用电子束蒸发技术制备碳化硼薄膜,利用X射线衍射(XRD)分析了薄膜的结构,测量了薄膜的X射线光电子能谱(XPS),并利用原子力显微镜(AFM)对薄膜进行表面分析.XRD结果表明:薄膜的结晶性随着衬底温度的升高逐渐转好,在较低的衬底温度下制备出多晶碳化硼薄膜.XPS分析得到了碳化硼薄膜表面的化学成分...
关键词:
电子束蒸发
,
碳化硼薄膜
,
XRD
,
XPS
