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MEMS器件自动引线键合系统

陈立国 , 杨治亮 , 马凌宇 , 孙立宁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.006

引线键合是MEMS传感器最常用的封装形式之一,传统IC引线键合设备的批量制造特点限制了MEMS制造的灵活性.本文将连续变倍显微镜作为视觉传感器建立柔性显微视觉系统,并与改造后的手动引线键合机相结合,建立了面向MEMS的自动引线键合系统.通过分析变倍显微镜的成像模型提出了一种适用于变倍显微镜的自动调焦...

关键词: MEMS , 引线键合 , 显微视觉