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反应溅射法制备高透明导电ZnO薄膜的研究

谢挺 , 祝柏林 , 杨玉婷 , 张俊峰 , 龙晓阳 , 吴隽

人工晶体学报

利用Zn/ZnO复合靶材,通过射频磁控溅射技术,在衬底温度为150℃时分别在Ar+O2和Ar+H2的混合气氛中制备ZnO薄膜,通过干涉显微镜、XRD、Hall效应测试仪、紫外-可见分光光度计研究了O2和H2流量对薄膜结构及透明导电性能的影响.结果发现,薄膜厚度随O2流量增加而明显增加而随H2流量增加...

关键词: Zn/ZnO复合靶 , 反应溅射 , 气体流量 , ZnO薄膜 , 结晶度 , 透明导电性