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王涛 , 杨玉贵 , 彭光正
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.03.016
介绍了空气非接触搬运技术的优越性、发展现状及其在半导体器件和平板显示制造业中的应用.阐述了空气悬浮和吸浮式非接触技术的原理,讨论了空气非接触搬运技术中存在的关键问题及解决方案,分析了该技术的发展前景.
关键词: 空气非接触搬运技术 , 半导体 , 液晶显示面板 , 制造装备
