朱博
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李进
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高忙忙
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杨轶涵
人工晶体学报
蓝宝石晶体以优越的综合性能被广泛用于军事及半导体衬底材料领域.泡生法是制造大尺寸蓝宝石晶体的主要方法,但其传统热场结构的低效率制约了晶体直径的增加.基于氧化锆陶瓷和钼金属材料设计了新型层状热场,并实验考察它们不同的内外组合形式对蓝宝石晶体生长过程中保温效率的影响.结果表明当热场结构以氧化锆陶瓷内置、...
关键词:
蓝宝石
,
泡生法
,
热场
,
氧化锆
,
钼金属
杨轶涵
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李进
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王长春
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高忙忙
,
康少付
人工晶体学报
蓝宝石晶体因优异的综合性能被广泛用于航空航天等高性能要求领域.泡生法是目前生产大直径蓝宝石单晶的主要方法,热场对生产工艺、产品质量和单晶炉功率具有重要影响;并将影响生产成本.本文对氧化锆及钼金属组合式热屏中氧化锆材料内置、外置及材料不同组合方式对泡生法蓝宝石单晶炉功率的影响进行研究,得到合理的热场结...
关键词:
蓝宝石
,
泡生法
,
热屏
,
氧化锆
,
钼金属
