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富勒烯（C60）与类金刚石碳复合膜的Debye模型的模拟计算

张建成 , 沈悦 , 陈建明 , 杨运峰 , 居建华 , 张天舒

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.007

由C60和类金刚石碳膜（DLC）组成的多层复合膜可在Si、玻璃和其它衬底上通过真空升华 沉积和随后以CH4和H2作为反应剂用射频化学气相沉积（RFCVD）的方法制备。这种膜的若干 特征可由拉曼谱（Raman）表征。复合膜电阻与介电常数由低频（LF）阻抗分析仪进行研究从而得 到膜电阻、介电常数和频率间...

关键词: C60 , DLC复合膜 , 介电特性