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溶胶凝胶法制备TiO2薄膜的微观结构和光学性能研究

李红 , 赵高凌 , 杨金坚 , 韩高荣

功能材料

以乙二醇甲醚为溶剂,羟基纤维素(HPC)为添加剂,用溶胶-凝胶法制备了多孔TiO2薄膜.扫描电镜(SEM)观察发现多孔TiO2薄膜孔径随HPC含量增加而变大.X射线衍射(XRD)表明得到的TiO2薄膜均为锐钛矿相,对XRD点阵参量进行计算,发现随HPC含量的增大,薄膜晶粒尺寸先减小后增大.表面轮廓仪膜厚测试表明随HPC含量的增大,薄膜厚度逐渐减小.UV-vis光谱分析表明随HPC含量增大,薄膜透射性能有所下降.

关键词: TiO2多孔薄膜 , HPC , 乙二醇甲醚 , 光吸收

热处理条件对溶胶-凝胶法制备多孔TiO2薄膜微观结构的影响

杨金坚 , 赵高凌 , 韩高荣

稀有金属材料与工程

以钛酸异丁酯为先驱物,乙二醇甲醚为溶剂,羟基纤维素(HPC)为添加剂,用溶胶-凝胶法制备了厚度在270 nm~420 nm的多孔TiO2薄膜.重点研究了薄膜微观形貌与热处理时间的关系,并对薄膜的截面电阻率进行了研究.在二次热处理温度550℃下处理60 min下得到多孔、厚度最大,截面电阻率最小的TiO2薄膜.

关键词: TiO2 , 多孔薄膜,PHC , 乙二醇甲醚

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