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功能材料在MEMS中的应用及进展

王灵婕 , 林吉申

功能材料

以硅材料为基础的微机电系统MEMS被人们认为是21世纪革命性的新技术,是实现信息采集、处理、执行一体化,使之成为真正的系统.本文论述了MEMS的加工技术对材料提出的要求,以及近年来各种硅材料和功能材料在MEMS的应用和最新进展.

关键词: MEMS , 硅 , 材料