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常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究

段钢锋 , 赵高凌 , 林小璇 , 吴历清 , 杜丕一 , 翁文剑 , 汪建勋 , 韩高荣

功能材料

在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜.对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透过率和反射率进行了研究.随着沉积时间的增长,薄膜由单层结构变为一种特殊的双层结构,这种双层结构的形成是沉积过程中气相成核机制引起的.光谱结果显示制备得到的薄膜具备一定的阳光控制性...

关键词: 氮化钛 , 常压化学气相沉积法 , 沉积时间 , 结构 , 阳光控制性能