楼均辉
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林明通
,
陈国荣
,
杨云霞
,
肖田
,
陈晨曦
材料导报
采用射频磁控溅射法在ITO/Corning1737玻璃基片上制备了用于无机EL绝缘层厚约700nm的Ba0.5Sr0.5TiO3介电薄膜,研究了沉积温度和退火处理对薄膜介电性能的影响.实验表明,随着沉积温度的升高,薄膜的介电常数、介电损耗、正反向漏电流密度增加,击穿场强下降.对于在500℃下沉积的薄...
关键词:
Ba0.5Sr0.5TiO3
,
薄膜
,
介电性能
,
沉积温度
,
退火处理
肖田
,
林明通
,
徐毅
,
陈晨曦
,
陈国荣
,
杨云霞
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.005
用rf和反应磁控溅射法成功制备了一种总厚度为530~730nm的SrTiO3/Ta2O5复合介电层,获得在500Hz下介电常数为48~73,反映介电损耗的参数ΔVy在0.06~0.15V之间,击穿场强为106~139MV/m,在0.05V/nm的电场下正、反向漏电流在10-9~10-7A/cm2之间...
关键词:
无机EL
,
SrTiO3薄膜
,
Ta2O5薄膜
,
SrTiO3/Ta2O5复合膜
林明通
,
蒋丹宇
,
汪霖
,
阮美玲
,
施剑林
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.014
研究了一种以YAG为晶界相和理论初始α/β比率为65/35的Y-c-β复相sialon在温度1250~1350°C和应力110~290MPa的四点弯曲蠕变行为,得出在1250、1300、1350°C下的应力指数分别为1.31、1.49、1.62,蠕变激活能为677kJ.mol-1,显微结构观察表明几...
关键词:
复相sialon
,
蠕变
,
显微结构
,
氧化
,
相变