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热解碳的氮离子注入处理及其血液相容性评价

李昌荣 , 王向晖 , 郑志宏 , 林梓鑫 , 俞柳江 , 张峰 , 柳襄怀 , 陈安清 , 蒋振斌

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.015

主要报导了热解碳的氮离子注入处理、等离子体浸没离子注入及其血液相容性.用卢瑟福背散射、X射线衍射和喇曼光谱法分析样品的成份及结构.测试了注入前后热解碳样品的血小板粘附性能,经过注入处理的样品表面粘附较少的血小板,而且较少团簇及变形,优于临床应用的热解碳.蛋白质竞争吸附实验结果表明热解碳经PIII处理...

关键词: 热解碳 , 离子注入 , 血液相容性

用离子束技术改善Ni_3Al(0.1B)在H_2SO_4溶液中的耐蚀性能

柳襄怀 , 郑志宏 , 黄巍 , 林梓鑫 , 邹世昌

中国腐蚀与防护学报

用多次扫描循环极化法研究经离子束表面改性的Ni_3Al(0.1B)在H_2SO_4溶液中的腐蚀行为。电化学测试和表面形貌的观察结果表明,离子注入、离子束混合和离子束辅助沉积技术对减缓Ni_3Al(0.1B)在用氧气饱和的1N H_2SO_4溶液中的腐蚀和改善钝化性能很有效果。

关键词:

低剂量 SIMOX圆片线缺陷和针孔的研究

郑望 , 陈猛 , 陈静 , 林梓鑫 , 王曦

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.023

用 Secco法、 Cu-plating法分别表征了低剂量 SIMOX圆片顶层硅线缺陷、埋层的针孔密度 . 结果显示 , 低剂量 SIMOX圆片的顶层硅缺陷密度低 , 但埋层质量稍差 . 通过注入工艺和退火过 程的进一步优化 , 低剂量 SIMOX将是一种有前途的 SOI材料制备工艺 .

关键词: SOI , SIMOX , Secco , Cu-plating , 线缺陷

高温碳离子注入形成碳化硅埋层的结构研究

邢玉梅 , 俞跃辉 , 林梓鑫 , 宋朝瑞 , 杨文伟

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.010

采用离子束合成法,将p型(100)单晶硅衬底加热并保持在700℃的条件下分别进行剂量为8.0×1017cm-2和9.0×1017cm-2的C+注入,随后在氩气保护下经1250℃退火5h后形成β-SiC埋层.借助红外反射光谱、卢瑟福背散射能谱以及高分辨透射电镜等测试手段,对退火前后碳化硅埋层的组分及结...

关键词: 碳化硅 , 离子束合成 , 埋层

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