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离子氮化高速钢沉积掺钨类金刚石薄膜的摩擦磨损性能研究

刘保国 , 林玥 , 张世宏

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.06.018

目的 探究湿度和加载载荷对氮化高速钢基体上沉积掺钨类金刚石薄膜的摩擦磨损性能的影响.方法 通过非平衡磁控溅射技术在氮化处理后的高速钢基体上制备了掺钨类金刚石(W-DLC)薄膜.利用纳米压痕仪和划痕实验检测了薄膜的硬度和结合力,通过摩擦磨损实验检测了不同湿度(30％和60％)和不同载荷(10、20、3...

关键词: 等离子氮化 , W-DLC薄膜 , 结合力 , 磨损 , 拉曼光谱