材料期刊网

氧气流量对射频磁控溅射制备Cu2O薄膜性能的影响

林龙 , 李斌斌 , 鲁林峰 , 江丰 , 沈鸿烈

人工晶体学报

通过磁控溅射方法在玻璃衬底上制备Cu2O薄膜,采用X射线衍射(XRD)、分光光度计、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)等研究了氧气流量对Cu2O薄膜性能的影响.结果表明:氧气流量为4.2 sccm时,薄膜为单相的Cu2O,具有较高的结晶质量和可见光透过率,光学带隙为2.29 eV,薄...

关键词: 氧化亚铜 , 磁控溅射 , 电阻率 , 光透射率 , 氧气流量