季振国
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张春萍
,
冯丹丹
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柯伟青
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毛启楠
材料科学与工程学报
利用溶胶-凝胶法制备了Zn_(1-x)Mg_xO压敏薄膜,并通过X射线衍射、X射线能谱、紫外-可见光谱仪、I-V特性测试仪等对薄膜及其压敏特性进行了表征.XRD结果表明,掺Mg后Zn1-xMgxO薄膜仍然为六方纤锌矿ZnO晶体结构;紫外-可见吸收谱表明,随着薄膜中Mg含量的增加,薄膜的吸收边蓝移,禁带宽度增加.I-V特性曲线表明,基于Al/Zn_(1-x)Mg_xO/Si结构的薄膜压敏电阻器的阈值电压随着Mg含量的增加而增加,因此可以通过调节Mg含量实现对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜压敏电阻器阈值电压的调节.上述现象表明,Zn_(1-x)Mg_xO薄膜压敏电阻器的压敏阈值电压与禁带宽度有关,即与Zn_(1-x)Mg_xO薄膜中电子的本征跃迁有关.
关键词:
Zn_(1-x)Mg_xO
,
薄膜压敏电阻器
,
Mg掺杂
,
阈值电压
季振国
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黄东
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席俊华
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柯伟青
,
周荣富
材料科学与工程学报
利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了基于柱状ZnO薄膜的Al-ZnO-Al三明治结构的超低阈值电压的压敏电阻.XRD和SEM测试结果表明,该压敏电阻中的ZnO薄膜层为结晶性能良好,并且沿ZnO的(002)晶面择优取向生长的柱状薄膜.Ⅰ-Ⅴ测试结果表明,这种由柱状ZnO薄膜构成的压敏电阻阈值电压仅3.2 V,为现有压敏电阻中阈值电压最低的压敏电阻.
关键词:
氧化锌
,
柱状薄膜
,
压敏电阻
,
超低阈值
