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TFT LCD行业标准的探讨

柳江虹 , 柳江虹 , 牟颖

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2000.04.011

关键词:

TFT栅线及阵列的缺陷分析

柳江虹 , 马凯

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.02.008

对TFT(Thin Film Transistor)的栅线及阵列缺陷的表现及成因进行了分析.在实际工艺过程中避免这些缺陷有利于提高器件成品率,改善显示质量.

关键词: TFT器件 , 阵列缺陷 , 刻蚀

TFT工艺中的反应性离子刻蚀

柳江虹 , 袁剑峰 , 杨柏梁 , 梁庆成

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.01.006

对TFT器件工艺中的反应性离子刻蚀技术进行了研究,给出了TFT器件工艺中常见薄膜刻蚀速率的实验结果,并讨论了掺杂气体(如H2、Ar)对刻蚀速率的影响.

关键词: 反应性离子刻蚀 , 选择比 , TFT器件