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微-纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究

柴士磊 , 史新伟 , 周秋霞 , 靳慧智 , 姚宁 , 王新昌 , 张兵临

材料保护

在钛-铝-钼为过渡层的Cu片上,用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法首先沉积一层微米金刚石薄膜,然后沉积纳米金刚石薄膜,制备了微-纳米复合金刚石薄膜.利用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面形貌及界面状态,利用拉曼光谱及X射线衍射对薄膜微结构进行分析并采用压痕法检测了膜基间的结合力并观察了压痕的...

关键词: MPCVD , 微-纳米复合金刚石薄膜 , 附着力 , 界面