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类金刚石膜的光学及场发射性能研究现状

桑红毅 , 张维佳 , 王天民

材料导报

类金刚石膜以其优良的性能广泛应用于机械、电子、光学和生物医学等许多领域.主要介绍了DLCF的光学及场发射性能研究进展,并对研究现状进行了分析和展望.

关键词: 光学性能 , 场发射性能 , 类金刚石膜