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退火处理对Zno/Si异质结光电转换特性的影响

张伟英 , 刘振中 , 刘照军 , 梁会琴 , 傅竹西

材料导报

采用直流反应溅射方法在P型Si(100)衬底上生长掺Al的ZnO薄膜,并研究退火处理对ZnO薄膜性质的影响.XRD测量结果表明,ZnO薄膜为六方纤锌矿结构,退火后薄膜的晶粒长大,晶界减少;暗态I-V特性曲线表明,Zno/Si异质结具有明显的整流特性,退火后由于晶粒间界减少和空位浓度降低使反向漏电流降低1个量级;此外,退火处理能在一定程度上改善异质结的光伏效应,使其转换效率提高.

关键词: 退火 , 异质结 , 光电转换