黄德文
,
游利兵
,
梁勖
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2009.01.007
针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.
关键词:
激光技术
,
脉冲升压式电源
,
拉普拉斯变换
,
高重复率
,
光刻
游利兵
,
周翊
,
梁勖
,
余吟山
,
方晓东
,
王宇
量子电子学报
doi:10.3969/J.issn.1007-5461.2010.05.002
193nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产.分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术:主振-功率再生放大(MOPRA)结构,主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术.对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论.
关键词:
激光技术
,
ArF准分子激光
,
光刻
,
双图形
高健
,
方晓东
,
梁勖
,
马跃
,
吴本科
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2014.01.014
实验研究了308 nm准分子激光皮肤治疗仪激光传输系统中光纤的传输特性.比较了紫外扩展型液芯光纤、集束石英光纤、普通液芯光纤三种不同类型的光纤在不同的激光输出功率、工作时间等条件下的传输效率,紫外扩展型液芯光纤的传输效率达到70%;测量和分析了在激光传输过程中液芯光纤对激光光强分布的改善和匀光作用,...
关键词:
激光技术
,
准分子激光器
,
传输率
,
液芯光纤
,
光学传输系统
,
匀光