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刘小林 , 梁培辉 , 张伟清
硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2001.02.001
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备SnO2薄膜，通过对薄膜的不同处理方式(热处理、氨处理和未处理)所获得的SnO2薄膜的比较，研究了氨处理SnO2薄膜的结构、抗机械损坏能力、光学及电学特性。实验结果表明氨处理溶胶-凝胶SnO2薄膜不仅具有较好的抗机械损坏能力，同时也具有良好的光学和电学性能。
关键词: SnO2薄膜 , 溶胶-凝胶工艺 , 氨处理
