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S136不锈钢基体溅射氮化铬薄膜的硬度和接触角

王翠凤 , 邱锡荣 , 康爱军 , 梁家豪 , 黄文荣

机械工程材料

在不同的S136不锈钢基体上溅射制备了氮化铬(CrN)薄膜,通过接触角的测量、硬度测试、扫描电子显微镜观察及X射线衍射分析等方法研究了基材的组织、方向性、表面粗糙度、表面机械加工方法及溅射偏压对CrN薄膜接触角和硬度的影响.结果表明:在溅射功率300W、施加-120V偏压、氩气和氮气流量比9∶1溅射...

关键词: CrN薄膜 , 接触角 , S136不锈钢