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铁催化薄膜的微观结构对碳纳米管阵列生长的影响

刘华平 , 程国安 , 赵勇 , 郑瑞廷 , 梁昌林

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.025

本文利用热化学气相沉积法(TCVD),系统地研究了NH3预处理对硅基底上沉积的催化剂铁膜的结构及所制备的碳纳米管形态的影响.研究结果表明,利用氨气对硅基底上的催化剂铁膜进行适当的预处理不仅可以将催化剂颗粒细化,还可以使催化剂在碳纳米管的制备过程中保持较高的催化活性,促进分解出的活性碳原子在催化剂中扩散和析出,增强碳纳米管的成核和生长,从而合成出纯度较高、定向性好的碳纳米管阵列.

关键词: Fe薄膜 , 热化学气相沉积 , 碳纳米管阵列 , 催化剂

乙炔催化裂解制备碳纳米带及其结构表征

郑瑞廷 , 程国安 , 赵勇 , 刘华平 , 梁昌林

新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2005.04.012

以乙炔(C2H2)为碳源,铁为催化剂,通过化学气相沉积技术在单晶硅衬底上制备了碳纳米带.采用场发射SEM、TEM、激光Raman光谱等先进分析手段对其形态和结构进行了表征.研究发现:碳纳米带是一种准二维材料,厚度约30nm,宽度在几百纳米,长度在100μm量级.碳纳米带的碳层沿着与其生长轴方向一致的(002)晶向排列,碳层的边缘都弯曲折叠成封闭结构.碳纳米带中碳层的排列不很平直,其中存在大量的层错.由此认为碳纳米带可用于能源等领域.

关键词: 化学气相沉积 , 碳纳米带 , 微观结构

高温氨刻蚀对硅基纳米铁薄膜显微形态的影响

赵勇 , 程国安 , 郑瑞廷 , 刘华平 , 梁昌林

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.03.004

本文研究了750℃高温氨刻蚀对硅基铁纳米薄膜显微形态变化的影响.找到了纳米铁颗粒平均直径和平均分布密度随刻蚀时间、薄膜厚度等参数变化的规律,并对氨在其变化过程中的作用机制进行了初步探讨.研究发现: 5~10nm的薄膜原始厚度和8~12min的刻蚀时间是硅基铁纳米薄膜催化高定向碳纳米管阵列化学气相沉积生长的较理想条件.

关键词: 铁纳米薄膜 , 氨刻蚀 , 显微形态

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