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镀膜光纤传感器ZnO压电层电沉积机理及结晶结构的研究

周雅 , 蒋利民 , 袁永瑞 , 梁桂

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2005.03.001

研究了镀膜光纤传感器ZnO压电薄膜电沉积的晶体结构的影响因素及沉积机理.试验表明,利用Zn(NO3)2单盐水溶液体系可在铜基上进行阴极电沉积直接得到氧化锌膜.试验研究了电沉积过程中电流密度、沉积温度、Zn2+浓度、pH值及沉积时间对氧化锌膜结构的影响,提出了一套稳定、实用、经济的电沉积工艺参数为:电...

关键词: ZnO薄膜 , 光纤传感器 , 阴极电沉积