梁继然
,
胡明
,
阚强
,
陈涛
,
梁秀琴
,
陈弘达
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2011.04.012
采用直流对靶磁控溅射方法制备氧化钒薄膜,通过改变热处理温度获得了具有不同晶粒尺寸的相变特性氧化钒薄膜,对氧化钒薄膜相变过程中电阻和红外光透射率随温度的突变性能进行研究.结果表明:经300℃和360℃热处理后,薄膜内二氧化钒原子分数达到40%,氧化钒薄膜具有绝缘体-金属相变特性,薄膜的晶粒尺寸分别为5...
关键词:
氧化钒薄膜
,
晶粒尺寸
,
光学相变
房振乾
,
胡明
,
窦雁巍
,
宗杨
,
梁继然
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.11.010
用电偶腐蚀法制备多孔硅,主要研究了铂电极的优化制备工艺以及腐蚀条件对多孔硅厚度的影响,并且结合SEM,AFM等测试手段对所制备的多孔硅的表面形貌进行了分析.实验发现,在相同的腐蚀条件下,多孔硅的厚度随铂电极的厚度以及铂电极与腐蚀硅片的面积比的增大而增大.
关键词:
多孔硅
,
电偶腐蚀法
,
腐蚀条件
,
厚度
,
表面形貌
梁继然
,
胡明
,
刘志刚
,
韩雷
稀有金属材料与工程
采用直流对靶磁控溅射低价态氧化钒(VO2-x)薄膜再附加热氧化处理的方式,进行具有金属-半导体相变特性氧化钒薄膜的制备.采用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜中钒的价态与组分、薄膜结晶结构和表面微观形貌进行分析,利用热敏感系统对薄膜的电阻温度特性进行测量....
关键词:
相变氧化钒薄膜
,
低温热氧化
,
直流对靶磁控溅射
梁继然
,
胡明
,
刘志刚
功能材料
采用直流对靶磁控溅射氧化钒薄膜再附加热氧化处理的方式进行金属-半导体相变特性氧化钒薄膜的制备,研究了低热处理温度下热处理温度与时间对氧化钒薄膜组分、晶体结构和相变性能的影响.新制备的氧化钒薄膜为V2O3和VO的混合相.经300℃/1h热处理后,薄膜内出现单斜结构VO2,薄膜具有相变特性;保持热处理时...
关键词:
相变氧化钒薄膜
,
低温热处理
,
直流对靶磁控溅射
