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激光晶体炉上称重法自动直径控制(ADC)技术

董淑梅 , 李言 , 李留臣 , 王庆 , 楚波

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.033

自动直径控制(ADC)技术是直拉法晶体生长设备的一项动直径控制方法,并从理论上分析了上称重法自动直径控制(ADC)原理,着重介绍了在传统TDL-J50A及TDL-J60激光晶体炉上自主开发的上称重法自动直径控制系统的机械结构及控制系统.使用上称重法自动直径控制系统已成功地生长出φ51～76mmYAG晶体及φ51～76mm铌酸锂晶体,取得了良好的控制效果.

关键词: 激光晶体炉 , 自动直径控制 , 上称重法