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溶胶-凝胶法生长(002)高度择优取向的ZnO:Al薄膜

尹玉刚 , 沈鸿烈 , 楼晓波 , 李斌斌 , 高超

功能材料

采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了高度择优取向的ZnO:Al薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)分别对薄膜结构和形貌进行了表征,用紫外-可见透射光谱和四探针研究了薄膜的光电性能.结果表明:制备的ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿结构,且具有明显的c轴择优取向;Al离子的掺杂浓度和退火温度...

关键词: ZnO薄膜 , c轴择优取向 , 溶胶-凝胶法 , 光透过率