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CVD金刚石紫外探测器

楼燕燕 , 王林军 , 张明龙 , 顾蓓蓓 , 苏青峰 , 夏义本

功能材料

CVD金刚石紫外探测器有极强的辐射硬度及耐腐蚀性,在宽禁带半导体紫外探测器中占有重要地位.本文主要对金刚石紫外探测器的发展进展、探测机理、电极模式及应用领域做了简要回顾.

关键词: 紫外探测器 , 金刚石膜 , 辐射硬度

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