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基于有限元的电感器线圈镀铜工艺仿真分析

樊爱珍

表面技术

目的：优化电感器线圈电镀工艺，研究电感线圈电镀过程中电流、电解质电势和镀层厚度分布规律。方法采用计算机仿真技术，基于电镀动力学、电化学理论、法拉第定理和移动网格理论，建立电感线圈匝数参数化的三维电感器线圈电镀模型。结果电感线圈外部的铜离子浓度较高，大约为309 mol/ m3。电感线圈最外圈的电镀厚...

关键词: 电镀动力学 , 移动网格 , 计算机仿真 , 电镀模型