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不同掺Ag含量下高温(800℃)沉积CrN/Ag涂层的组织结构及其性能

张旭海 , 巫亮 , 曾宇乔 , 李凡 , 徐笑 , 李想 , 武小冕 , 蒋建清

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.13.021

为研究高温下掺入Ag的CrN涂层的组织性能,在沉积温度为800℃的条件下采用直流反应磁控溅射技术制备CrN/Ag硬质涂层.采用扫描电镜(SEM)、EDS能谱仪、X射线衍射(XRD)和维氏硬度计,综合分析了800℃沉积温度下,对不同Ag掺杂情况下CrN/Ag涂层的组织结构和性能特点,以及700℃热处理...

关键词: CrN/Ag涂层 , 磁控溅射 , 热处理 , 氧化 , 硬度 , Ag溢出

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