江强
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武晓南
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周细应
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言智
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毛秀娟
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李明
表面技术
采用直流磁控溅射法在棉布、涤纶、芳纶织物上制备金属铝膜,研究了铝膜的沉积速率、组织结构和表面形貌.结果表明:在一定的范围内,沉积速率随溅射功率的增大近似呈线性增加,随溅射气压的增加先升后降；基底材料对铝膜的组织结构有较大影响,在涤纶和棉布上沉积的铝膜才呈现出典型的多晶态面心立方结构,在芳纶和涤纶上获得的铝膜较棉布上的铝膜更为均匀、致密；在一定范围内,溅射功率的增大有助于提高铝膜质量.
关键词:
磁控溅射
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柔性基底
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铝膜
