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柔性基底上直流磁控溅射沉积金属铝膜的研究

江强 , 武晓南 , 周细应 , 言智 , 毛秀娟 , 李明

表面技术

采用直流磁控溅射法在棉布、涤纶、芳纶织物上制备金属铝膜,研究了铝膜的沉积速率、组织结构和表面形貌.结果表明:在一定的范围内,沉积速率随溅射功率的增大近似呈线性增加,随溅射气压的增加先升后降；基底材料对铝膜的组织结构有较大影响,在涤纶和棉布上沉积的铝膜才呈现出典型的多晶态面心立方结构,在芳纶和涤纶上获...

关键词: 磁控溅射 , 柔性基底 , 铝膜