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钛掺杂无氢类金刚石薄膜疏水性能研究

张林 , 林国强 , 马国佳 , 魏科科 , 段仲伟

稀有金属材料与工程

采用MEVVA离子源复合磁控溅射沉积系统,在钛合金Ti6Al4V基体上制备Ti掺杂DLC薄膜,研究Ti掺杂对DLC薄膜疏水性能的影响.通过X射线能谱仪(EDS)、X射线光电子谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的组分、化学键以及表面形貌进行分析;通过测量静态接触角分析薄膜的润湿性并计算薄膜...

关键词: 类金刚石膜 , 掺杂 , 接触角 , 表面能