桑敏
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刘发民
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丁芃
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毋二省
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王天民
功能材料
本文采用TiO2陶瓷靶及射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出了一系列透明TiO2薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同衬底温度和溅射功率的TiO2薄膜结构和形貌进行了表征,结果随着溅射条件的不同会出现锐钛矿或锐钛矿-金红石的混合相.利用UV-Vis-Nir分光光度计测得的透射光谱表明随着衬底温度和溅射功率的增加吸收边有一定的红移.薄膜的光催化活性通过对罗丹明B溶液的降解效率来表征,结果表明在550℃和130W表面出最佳的光催化效果.
关键词:
TiO2薄膜
,
射频磁控溅射
,
陶瓷靶
,
光催化特性
