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GCr15钢领基体磁控溅射类金刚石薄膜的工艺

赵帅 , 毕雅萱 , 许新军

材料保护

为了提高钢领表面耐磨性,采用中频非平衡磁控溅射法在经热处理的GCr15钢领上制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对不同磁控溅射功率、负偏压下制备的DLC薄膜进行了组织结构分析和摩擦磨损性能测试.结果表明:随着溅射功率、负偏压增加,DLC薄膜的Raman谱G峰位置和ID/IG值均整体上呈增加趋势,sp3键...

关键词: 磁控溅射法 , DLC薄膜 , GCr15钢领 , 组织结构 , 摩擦磨损性能