黄国强
,
毛俊楠
,
王红星
,
华超
人工晶体学报
建立了氢气和三氯氢硅系统的多晶硅气相沉积反应模型,通过Chemkin4.0耦合气相反应、表面反应机理,利用流体力学软件Fluent 6.3.26数值求解.根据模拟结果绘制了进气温度、进气组成、沉积表面温度以及反应压力与硅沉积速率的关系曲线,阐述了这些条件对于硅沉积速率的影响,同时把模拟结果与文献中的...
关键词:
化学气相沉积
,
数值模拟
,
传质
,
反应
,
多晶硅
,
硅沉积速率
黄国强
,
潘金花
,
毛俊楠
,
王红星
,
范江洋
人工晶体学报
本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件Fluent 6.3.26进行数值模拟.之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论:当进气组成、反应温度和反应压力增大...
关键词:
硅烷
,
化学气相沉积
,
多晶硅
,
数值模拟
