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检索条件:作者=毛永军  

  • 论文(2)

掺杂V的SmFe合金结构转变规律及磁性能的研究

毛永军 , 李红卫 , 罗阳 , 靳金玲 , 李扩社 , 于敦波

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.04.005

通过感应熔炼制备了不同V掺杂量的铸态SmFe9-xVx(x=0,0.4,0.8,1.2,1.6,2.0)合金,经过850℃,5h均匀化退火处理,采用XRD,VSM等方法分析了SmFeV合金的结构和性能,进而研究V掺杂对SmFe合金的结构和性能的影响规律.结果表明:随V掺杂量增加,SmFe合金的相结构...

关键词: SmFe合金 , V掺杂 , 相结构转变

Cu互连中Ta-Si-N/Zr阻挡层热稳定性的研究

丁明惠 , 毛永军 , 王本力 , 盖登宇 , 郑玉峰

稀有金属材料与工程

用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备Ta-Si-N(10 nm)/Zr(20 nm)双层结构的扩散阻挡层.Cu/Ta-Si-N/Zr/Si样品在高纯氮气的保护下从600至800℃退火1 h.通过四探针电阻测试仪(FPP)、SEM、XRD和AES研究Cu/Ta-Si-N/Zr/S...

关键词: Ta-Si-N/Zr , 扩散阻挡层 , Cu互连 , 射频反应磁控溅射