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Sol-gel法制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜

利用Sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜,研究了退火温度、保温时间和薄膜厚度对其晶相、微观结构和铁电性能的影响.在500℃退火处理的PZT薄膜开始形成钙钛矿相;在550℃退火处理的PZT薄膜基本形成钙钛矿相结构;升高退火温度(5...

关键词: Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜 , Sol-gel工艺 , 退火温度 , 保温时间 , 薄膜厚度 , 铁电性能

退火温度对Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜结构及其性能的影响

毛薇 , 秦岩 , 黄志雄 , 付承菊 , 郭冬云

功能材料

采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO_2/Si衬底上制备Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和微观形貌进行了表征,通过改变退火温度制得了具有单一钙钛矿结构的Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜.然...

关键词: 退火温度 , Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜 , sol-gel法 , 铁电性能 , 阻尼性能

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刊物分类

无机材料学报4篇

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Sol-gel法制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜

退火温度对Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜结构及其性能的影响

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