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胡明勇 , 刘文清 , 张权 , 江庆伍
量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.02.006
在基于像差理论的基础上,对于超大相对孔径抛物面反射镜,提出了三片补偿镜和一片场镜的零位补偿检验方法,详细论述了补偿检验系统的设计过程,成功地设计了相对孔径为F0.6,口径为φ290 mm的抛物面反射镜的补偿检验系统,从整个设计的结果看出,检验系统的像差被很好的校正,完全达到衍射极限.
关键词: 光学检测 , 超大相对孔径 , 零位补偿检验 , 三级像差理论
