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水热法制备In掺杂ZnO薄膜的表面形貌及其光学性质

戴结林 , 江瑶瑶 , 尚凤娇 , 周智涛 , 王峰 , 赵敏 , 吕建国

硅酸盐通报

采用水热法在ZnO籽晶层上制备了不同In掺杂量的ZnO薄膜,用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见分光光度计和荧光光谱仪等测试分析薄膜的微结构、表面形貌、透射谱和室温光致发光谱.结果表明,In离子的掺入未改变薄膜的晶相结构,但抑制了ZnO晶粒的生长,使得ZnO的结晶度明显下降.随...

关键词: In掺杂 , ZnO薄膜 , 表面形貌 , 光致发光谱