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范平 , 梁广兴 , 张东平 , 蔡兴民 , 池京容 , 李盛艺
功能材料
采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100～400℃)与薄膜厚度(35～200nm)对其微结构与光电性能的影响.结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征;随着基底温度的升高,(002)特征衍射峰强度增加,半...
关键词: CdS薄膜 , 离子束溅射 , 微结构 , 光电性能
